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科普 硅晶棒怎么出产?_bob平台官网-BOB官方APP下载-bob综合官网
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bob平台官网:科普 硅晶棒怎么出产?

2024-10-01 17:46:56 | 来源:BOB官方APP下载 作者:bob综合官网

  硅晶棒的出产一般最重要的包括几个工序:晶棒成长、晶棒裁切与检测、外径研磨。以下是一种出产方式所涉及到的工序细节:

  将块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内,加热到其熔点1420°C以上,使其彻底消融。

  待硅融浆的温度安稳之后,将晶种渐渐刺进其间,接着将晶种渐渐往上进步,使其直径缩小到必定尺度,保持此直径并拉长100至200毫米,以消除晶种内的晶粒摆放取向差异。

  颈部成长完成后,渐渐下降进步速度和温度,使颈部直径逐步加大到所需尺度(如5、6、8、12吋等)。

  不断调整进步速度和融炼温度,保持固定的晶棒直径,只到晶棒长度到达预订值。

  当晶棒长度到达预订值后再逐步加快进步速度并进步融炼温度,使晶棒直径逐步变小,以防止因热应力构成排差和滑移等现象发生,最终使晶棒与液面彻底别离。到此即得到一根完好的晶棒。

  将长成的晶棒去掉直径偏小的头、尾部分,并对尺度进行细心的检测,以决议下步加工的工艺参数。

  因为在晶棒成长过程中,其外径尺度和圆度均有必定差错,其外园柱面也高低不平,所以有必要对外径进行修整、研磨,使其尺度、形状差错均小于答应差错。

  堵截的意图:沿着垂直于晶体成长的方向,切除硅棒的头(硅单晶的籽晶和放肩部分),尾部以及外观尺度小于标准要求的无用部分,将硅晶棒切成数段,一起,对硅棒切取样片,检测其电阻率,氧碳含量,晶体缺陷等相关质量参数。

  无论是选用直拉法或是区熔法成长的硅单晶棒,一般是按<100 >或<111 >晶向成长的。经过滚磨加工,使其外表整形到达根本的直径和直径公役要求,并确认其定位面的方位及其根本尺度。

  为了去除磨削工艺流程中的外表机械损害和沾污,有利于后道工序的加工,就要对其标明上进行非物理性腐蚀处理。

  一份来自瓦克化学的、请求号为CN1.4(授权公告号:CN102555087B)的发明专利,介绍了一种细硅棒的办法。

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